Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerző: Hanyecz István
További közreműködők: Tóth Zsolt (Témavezető)
Dokumentumtípus: Disszertáció
Megjelent: 2015-05-07
Tárgyszavak:
doi:10.14232/phd.2267

mtmt:2994696
Online Access:http://doktori.ek.szte.hu/2267
LEADER 01173nta a2200229 i 4500
001 dokt2267
005 20200407113038.0
008 140623s2015 hu om 0|| hun d
024 7 |a 10.14232/phd.2267  |2 doi 
024 7 |a 2994696  |2 mtmt 
040 |a SZTE Doktori Repozitórium  |b hun 
041 |a hun 
100 1 |a Hanyecz István 
245 1 0 |a Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata  |h [elektronikus dokumentum] /  |c  Hanyecz István 
246 1 0 |a Ellipsometric investigation of laser textured silicon surfaces and pulsed laser deposited amorphous silicon and SixC thin films  |h [elektronikus dokumentum] 
260 |c 2015-05-07 
502 |a Disszertacio 
650 4 |a fizikai tudományok 
700 1 |a Tóth Zsolt  |e ths 
856 4 0 |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/2267/1/HanyeczI%20PhD%20dolgozat.pdf  |z Dokumentum-elérés  
856 4 0 |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/2267/2/HanyeczI%20Tezisfuzet.pdf  |z Dokumentum-elérés  
856 4 0 |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/2267/3/HanyeczI%20Thesesbook.pdf  |z Dokumentum-elérés