Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
1998
|
| Sorozat: | PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
3573 |
| Tárgyszavak: | |
| mtmt: | 1077658 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/5563 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 104-107 |
|---|---|
| ISSN: | 0277-786X |