Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2004
|
| Sorozat: | THIN SOLID FILMS
453-454 |
| doi: | 10.1016/j.tsf.2003.11.081 |
| mtmt: | 1083945 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9094 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 121-126 |
|---|---|
| ISSN: | 0040-6090 |