Wet Etching of Fused Silica a Multiplex Study /
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
Institute of Physics Publishing
2004
|
| Sorozat: | JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
37 No. 17 |
| doi: | 10.1088/0022-3727/37/17/018 |
| mtmt: | 1083950 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9095 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 2449-2454 |
|---|---|
| ISSN: | 0022-3727 |