Fabrication of 150 nm Period Grating in Fused Silica by Two-beam Interferometric Laser Induced Backside Wet Etching Method
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2006
|
| Sorozat: | OPTICS EXPRESS
14 No. 18 |
| doi: | 10.1364/OE.14.008354 |
| mtmt: | 1083956 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9097 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 8354-8359 |
|---|---|
| ISSN: | 1094-4087 |