Ti sapphire laser ablation of silicon in different ambients /
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2014
|
| Sorozat: | JOURNAL OF LASER MICRO NANOENGINEERING
9 No. 2 |
| doi: | 10.2961/jlmn.2014.02.0008 |
| mtmt: | 2704313 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9234 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 119-125 |
|---|---|
| ISSN: | 1880-0688 |